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El vaciómetro, como equipo esencial para medir el grado de vacío, su precisión y estabilidad de medición influyen directamente en la calidad de los procesos experimentales o de producción. Para garantizar el funcionamiento seguro del equipo y obtener datos fiables, es necesario prestar especial atención a las siguientes cuestiones durante el uso:
1. Evitar fuentes de interferencia: Es necesario mantener una distancia de las salidas de aire de las bombas de vacío, hornos de calentamiento y otras fuentes de calor, así como de equipos con campos magnéticos fuertes como motores grandes y transformadores. Las zonas con flujo de aire turbulento causarán fluctuaciones en los valores medidos, los cambios de presión local provocados por las fuentes de calor reducirán la precisión y los campos magnéticos fuertes pueden interferir en los circuitos electrónicos.
2. Optimizar las condiciones de observación: La altura de instalación debe adaptarse a los hábitos visuales del personal operario, y se debe reservar suficiente espacio de operación. Por ejemplo, en los equipos de fabricación de semiconductores, los vaciómetros se instalan a menudo en el lateral de la cámara, lo que facilita el monitoreo en tiempo real y evita la contaminación por materiales de proceso.
3. Normas de diseño de tuberías: Las tuberías de conexión deben ser gruesas y cortas, con un diámetro interno adecuado; se deben evitar las tuberías delgadas y largas. En un caso de reforma de un horno de vacío, al reemplazar la tubería delgada de 2 metros por una gruesa de 0,5 metros, el tiempo de respuesta de medición se redujo en un 60%.
1. Principio de coincidencia de rango: Elige el rango apropiado según el rango de medición. Por ejemplo, el manómetro de vacío HPM4/6 tiene rangos de medición de 0.001-1.0 Torr (para contenedores de baja temperatura) y 0.01-20.0 Torr. Exceder el rango puede causar daños permanentes al sensor.
2. Control del proceso dinámico: Después de encender la bomba de vacío, es necesario esperar a que el sistema se estabilice antes de leer los datos. En un experimento de materiales para la industria aeroespacial, debido a que no se esperó a que el grado de vacío se estabilizara, el error del valor medido alcanzó el 35%. En el caso de los vaciómetros de compresión, es necesario elevar la columna de mercurio de forma lenta y estable, y suspender el ajuste cuando se acerque a la línea de referencia.
3.Medidas de prevención de contaminación: Después de usar el vaciómetro de McLeod, es necesario restaurar inmediatamente su posición horizontal y apretar fuertemente el tubo de caucho para evitar el reflujo del aceite de la bomba. En una empresa química, por no cumplir esta operación, se produjo contaminación del mercurio en el vaciómetro, y el costo de reparación aumentó en 20.000 yuanes.
1. Limpieza y revisión periódicas: Limpiar la superficie del sensor con un paño sin polvo impregnado de etanol anhidro una vez a la semana, y revisar la estanqueidad de los cables de conexión una vez al mes. En una línea de producción de semiconductores, debido a que no se reemplazaron a tiempo las juntas de estanqueidad desgastadas, la tasa de fuga anual excedió el límite en 0,5 Pa.
2. Control del ciclo de calibración: Se recomienda calibrar los vaciómetros de resistencia una vez cada 6 meses, y los vaciómetros de ionización requieren calibración del punto cero una vez cada 3 meses. En un laboratorio óptico, por no realizar la calibración periódica, el error del espesor del recubrimiento alcanzó el 12%.
3. Requisitos del entorno de almacenamiento: Para el almacenamiento a largo plazo, el vaciómetro debe colocarse en una caja antihumedad, con una humedad relativa controlada en ≤45%. En una institución de investigación, al almacenar el vaciómetro en un entorno húmedo, se produjo corrosión en la placa de circuito, y el tiempo de reparación duró 2 semanas.
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